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晶圆为什么不能越做越大?

晶圆直径越大可能导致由于旋转速度不稳定带来的晶格结构缺陷。同时直径越大就意味着晶圆重量越大,边缘处就更容易出现翘曲的情况。因此,晶圆越大,良品率越低,成本越高。

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晶圆直径扩大不仅仅是技术问题,还要综合工艺、经济性等等,每增加一毫米,制造工艺流程的投入就要增加30亿美元。

毕竟芯片制造虽然是高科技,但是依然属于制造业,不是实验室。

匿名回答于2024-05-18 11:27:48


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