蒸发镀膜设备的内壁会被其蒸镀靶材材料污染;
经常使用真空干燥系统,该系统会受蒸发出来的物质所污染;
镀膜设备中的扩散泵油、机械泵油等更是一大主要污染来源,镀膜机长期工作后,设备内部可能会形成一层油膜。
综上所述,设备的真空卫生涉及到真空设备、真空系统、真空工艺生产等各方面与环节,涉及到了真空镀膜设备本身和特殊真空工艺对使用条件的要求,因此,真空污染是一个值得被重视的问题,因为这些污染会影响设备性能,应注意定期或随时进行清洁工作.
匿名回答于2024-05-22 12:38:01
