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非接触式测量膜层表面方块电阻的原理是什么?
测量首先要有一个激励信号输入,再检测变化量。
非接触测量的激励信号可能是光,或者微波(光的一种)。假如膜层材料的导电性较好,可以通过检测反射微波的变化来进行测量;假如膜层材料的半导体特性较好,可以通过检测激光照射前后的表面光电压的变化来进行测量,非接触测量一般需要用标准件预先标定或校准。建议采用接触式测量更容易实现。
匿名回答于2024-05-25 19:58:03
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